论文部分内容阅读
近日，由中科院上海光机所承担的上海市国际科技合作基金（AM基金）“微电子刻蚀工艺加工新型光栅“项目在上海通过了验收。专家组对项目组采用石英玻璃研制出高性能偏振分光器，创造性的完成各项项目指标给予了高度评价。
微电子刻蚀工艺加工新型光栅项目研究通过验收
【摘 要】
：
近日，由中科院上海光机所承担的上海市国际科技合作基金（AM基金）“微电子刻蚀工艺加工新型光栅“项目在上海通过了验收。专家组对项目组采用石英玻璃研制出高性能偏振分光器，创造
【出 处】
：
传感器世界
【发表日期】
：
2007年10期
其他文献
本文以硅单晶的电阻率温度系数-电阻率非线性曲线为应用对象，用直线最小二乘法、牛顿插倡法、规范化多项式、MATLAB3次、4次及5次曲线分别进行拟合近似逼近，并得到各自的多项式
PHK型中文智能型pH在线监控仪是用于连续测量、控制水溶液DH值的自动控制仪器，具有功能强、反应快、体积小，使用简便等优点。该监控仪可用于城市污水处理厂和废水处理工程中的D
我国自主设计研制的新一代航天远洋测量船——“远望”五号，10月9日在江南造船厂正式交付中国卫星海上测控部使用，这艘具有国际先进水平的大型航天远洋测量船的建成使用，标志着
上海技术物理所、上海光学精密机械研究所共同研制的有效载荷激光高度计成功应用于嫦娥一号卫星并于10月24日搭载在“长征三号甲”运载火箭，于西昌卫星发射基地发射升空。
LWGQ型气体涡轮流量传感器是一种高精度的气体流量传感器，可解决多种流量计无法测量的气体小流量。它与相应的信号转换器结合可实现流量信号的传输，与相应的流量积算仪相配可实
以色列科学家最近宣布制造出世界上最小的机器人，这种机器人可以进入人的血管并将药物送往人体各处。这种机器人是由以色列工学院等几个机构的科学家联合开发的，据介绍，其大小为
该仪器是专为测定土壤、植株中NO3-N而设计的袖珍式电化学测量仪器。操作简便，每校订一次可进行较宽浓度范围的测量，检测范围0．14-1400mg／L，复校间隔时间较长。
安全巡查记录与管理系统，掌上机中的微控制器分别与存储电路、通讯电路、实时时钟电路、双供电电路、通讯兼供电接口、通讯接口相连接，通讯兼供电接口与固定机微控制器相连接，通
本文介绍了一种以衍射光栅作为计量标准器的垂直方向上的微位移工作台,用来实现在白光扫描干涉轮廓仪的表面形貌测量中Z方向上的精密定位,该工作台实现了轮廓仪的闭环测量和控制,文章重点讲述了光栅信号处理的硬件及软件细分技术,以及压电陶瓷驱动电路的原理和工作台闭环定位控制的流程。
汽车尾气中的有害物主要有CO、HC、NOx、SOx以及一些微粒物质，给人类赖以生存的大气环境带来了严重的危害。用氧传感器对汽车发动机的空燃比进行调节，控制发动机中的燃烧过程，可