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简介微机械振动陀螺的工作原理和电子隧道效应原理，电子隧道效应在敏感微小位移的变化有极高的灵敏度，巳成功地应用在加速度计、红外探测器、磁强针等微传感器上，本文提出把电子隧道效应应用到微机械振动陀螺的输出检测，并分析了输出为角振动和线振动的结构设计方案及检测方式。
电子隧道效应在微机械振动陀螺中的应用
【摘 要】
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简介微机械振动陀螺的工作原理和电子隧道效应原理，电子隧道效应在敏感微小位移的变化有极高的灵敏度，巳成功地应用在加速度计、红外探测器、磁强针等微传感器上，本文提出把电子
【机 构】
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厦门鹭江大学机械系,厦门大学机电系
【出 处】
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泉州师范学院学报
【发表日期】
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2001年6期
【基金项目】
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福建省自然科学基金 (A0 110 0 0 3) .
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