【摘 要】
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二硫化钼(MoS2)作为一种代表性的半导体二维原子晶体材料,具有优异的物理及电学特性,这使其在光电器件尤其是逻辑器件的应用中具有广泛的前景.总结了MoS2的表面电荷转移掺杂
【机 构】
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河北工业大学电子信息工程学院电子材料与器件天津重点实验室,天津 300401;中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点研究室,北京 100029;中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点研
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二硫化钼(MoS2)作为一种代表性的半导体二维原子晶体材料,具有优异的物理及电学特性,这使其在光电器件尤其是逻辑器件的应用中具有广泛的前景.总结了MoS2的表面电荷转移掺杂和替位掺杂,并分析了不同掺杂方法的优劣,同时介绍了降低费米能级钉扎效应的两种接触电阻的优化方法.依据肖特基理论改变金属功函数可以调节金属与MoS2的肖特基势垒高度,但由于金属与MoS2之间存在费米能级钉扎效应,接触时会产生较大的肖特基势垒,降低载流子的发射效率,从而增加金属与MoS2之间的接触电阻.最后,指出MoS2器件接触电阻的研究趋势并展望了MoS2的应用前景.
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