【摘 要】
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这种单频激光干涉系统采用共光路设计布局,通过偏振分束器以及1/4波长片等光学器件对干涉条纹进行空间移相,提取相位依次相差90°的三路干涉输出信号,进行比较放大,解决
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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这种单频激光干涉系统采用共光路设计布局,通过偏振分束器以及1/4波长片等光学器件对干涉条纹进行空间移相,提取相位依次相差90°的三路干涉输出信号,进行比较放大,解决了常规单频激光干涉仪中的光强"零漂"问题.利用共模抑制技术,提高了干涉系统的测量稳定性和重复性.采用光程差放大技术,提高了干涉系统的分辨力.
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