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采用有限元方法,针对硅微加速度传感器的对称梁岛结构进行了力学特性分析,通过分析得出了该结构的尺寸对其位移量、谐振频率及模态振型的影响规律,为此类加速度传感器的设计提供参考.
硅微加速度传感器的对称梁岛结构设计
【摘 要】
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采用有限元方法,针对硅微加速度传感器的对称梁岛结构进行了力学特性分析,通过分析得出了该结构的尺寸对其位移量、谐振频率及模态振型的影响规律,为此类加速度传感器的设计
【机 构】
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中国工程物理研究院
【出 处】
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信息与电子工程
【发表日期】
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2003年1期
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