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本发明公开了一种C3N4／MN多层复合超硬薄膜以及合成此膜的装置和广方法，该膜包括NM过渡层，C3N4／MN主耐磨层和MN表面减磨层，具有很高的显微硬度，采用本发明的装置和方法制备该膜，时间短，效率高，合成成本低，其显微镜硬度高达40－55MPa，因此在高速工具钢和其他耐磨涂层工件上镀制氮化碳超硬薄膜，具有很大的实用价值。