【摘 要】
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光子晶体是一种具有光子能带和带隙特性的空间周期性结构的人工电磁材料,因其具有的强大控光能力而在多种微纳光学功能器件中广泛应用,而光学生物传感器就是其中之一。光学生
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61775244,61675238,11374378)
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光子晶体是一种具有光子能带和带隙特性的空间周期性结构的人工电磁材料,因其具有的强大控光能力而在多种微纳光学功能器件中广泛应用,而光学生物传感器就是其中之一。光学生物传感器由于具有节能环保、抗干扰能力强、响应迅速等优势成为了当前生物传感器的研究热点。硅材料自身具有高折射率和在近红外通讯波段低损耗等优良特性,并且由于互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor,CMOS)工艺和片上集成技术的快速发展,硅基光子晶体生物传感器不论在工作性能还是在制作成本和规模上都具有独特优势,拥有巨大的研究价值和广阔的市场潜力。本文系统介绍了近期硅基光子晶体结构高性能生物传感器的研究进展并对未来发展做了展望。
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