【摘 要】
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在对外延片的测试中,常采用三探针和汞探针C-V两种方法.我们在进行比较、分析、实践的基础上,提出了为使器件生产性能稳定,尤其在高阻外延或应用场合较为严格的测试情况下,应
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在对外延片的测试中,常采用三探针和汞探针C-V两种方法.我们在进行比较、分析、实践的基础上,提出了为使器件生产性能稳定,尤其在高阻外延或应用场合较为严格的测试情况下,应采用汞探针C-V法为宜.
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