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对具有代表性的废水深度处理技术，包括臭氧化一生物活性炭技术、曝气生物滤池工艺，以及膜生物反应工艺，进行了工艺特征及其适应性的分析和比较。结果表明，臭氧化一生物活性炭工艺出水水质较好，可以作为深度处理技术应用于一些回用要求高的水处理工程项目；曝气生物滤池过滤是一种相当经济的深度水处理方法；膜生物反应工艺与传统的水处理法相比，在设备占地面积及费用上具有明显的优势，是未来废水深度处理的重要研究方向，具有相当好的发展前景。