多弧镀及磁过滤阴极弧沉积TiN薄膜的摩擦学性能对比

来源 :摩擦学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：guoxiuguo

【摘要】

：

分别采用多弧离子镀(MAIP)和带有平面'S'形过滤管的磁过滤阴极弧设备(FCAP)在不锈钢基底上制备了2种TiN薄膜;采用往复式球-盘摩擦磨损试验机评价了2种薄膜的摩擦学性

【作者】

：

张玉娟吴志国张伟伟阎鹏勋刘维民薛群基

【机构】

：

中科院兰州化学物理研究所,兰州大学,中科院兰州化学物理研究所

【出处】

：

摩擦学学报

【发表日期】

：

2004年6期

【关键词】

：

磁过滤等离子体沉积多弧离子镀氮化钛薄膜摩擦学性能 FrictionStainless steelSurface topographyTitanium ni

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分别采用多弧离子镀(MAIP)和带有平面'S'形过滤管的磁过滤阴极弧设备(FCAP)在不锈钢基底上制备了2种TiN薄膜;采用往复式球-盘摩擦磨损试验机评价了2种薄膜的摩擦学性能;采用扫描电子显微镜观察和分析了薄膜磨斑表面形貌及其元素面分布.结果表明:采用FCAP技术制备的薄膜表面光滑、缺陷少、普遍具有明显的(111)面择优取向;而采用MAIP技术制备的薄膜表面存在较多大小不一的颗粒和孔洞,且无明显取向.在较低载荷下,采用FCAP薄膜表现出较好的抗磨性能,其磨斑表面存在沉积的TiN磨屑;而采

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