【摘 要】
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通过研究四种显微结构不同的Al2O3陶瓷加工表面粗糙度的变化规律,来探讨Al2O3陶瓷材料加工表面粗糙度与其显微结构的关系。结果表明,Al2O3陶瓷材料加工表面粗糙度决定于磨料
【机 构】
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北京真空电子技术研究所,大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室
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通过研究四种显微结构不同的Al2O3陶瓷加工表面粗糙度的变化规律,来探讨Al2O3陶瓷材料加工表面粗糙度与其显微结构的关系。结果表明,Al2O3陶瓷材料加工表面粗糙度决定于磨料粒径和材料显微结构。总的来说,磨料粒径和陶瓷晶粒越小,表面粗糙度精度越高。当磨料粒径降到与陶瓷晶粒尺寸级别相当,或者更小时,决定Al2O3陶瓷材料加工表面粗糙度的关键因素是材料气孔的大小数量。材料越致密,其加工表面粗糙度的精度就能加工得越高。
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