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针对Dupont 951和Ferro A6M的材料,对数控铣削制作复杂微小结构腔槽工艺方法进行了研究。结果显示,该方法能够获得形状规整和边缘平滑的高质量腔槽,平面尺寸和深度精度均小于0.030mm,可用于LTCC基板高效散热内埋微通道的制作,满足大功率微波组件对高效散热的要求。
数铣法制作LTCC复杂微腔槽
【摘 要】
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针对Dupont 951和Ferro A6M的材料,对数控铣削制作复杂微小结构腔槽工艺方法进行了研究。结果显示,该方法能够获得形状规整和边缘平滑的高质量腔槽,平面尺寸和深度精度均小于
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十九研究所
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2019年2期
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