【摘 要】
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用口径400mm、厚12mm的薄反射镜作为实验镜进行了主动光学实验。支撑系统由背部12个主动支撑点和3个固定支撑点组成，主动支撑点采用由压电陶瓷促动器和压力传感器组成的力促动
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
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用口径400mm、厚12mm的薄反射镜作为实验镜进行了主动光学实验。支撑系统由背部12个主动支撑点和3个固定支撑点组成，主动支撑点采用由压电陶瓷促动器和压力传感器组成的力促动器，用于控制实验镜面形，固定支撑点用于控制实验镜的定位。通过Shack-Harmann波前传感器测量镜面面形并拟合出Zernike像差，用阻尼最小二乘法计算出校正力，通过PID算法闭环控制各促动器施加力的过程。通过主动校正，将初始支撑状态下的1．16λ（λ=632．8nm）RMS面形精度校正到O．072RMS，优于镜面抛光后的0．12
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