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本文研究了氧气相对流量对蓝宝石衬底上用磁控溅射制备TiO2薄膜性质的影响，并采用XRD、XPS、AFM等检测手段对其进行了结构、成分、表面形貌和透过率表征。结果表明，氧气的相对流量的变化对TiO2薄膜的物相、表面形貌和近红外透过率有显著影响，对TiO2薄膜中Ti2p^3/2的结合能影响不大。
氧气的相对流量对磁控溅射制备TiO2薄膜性质的影响
【摘 要】
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本文研究了氧气相对流量对蓝宝石衬底上用磁控溅射制备TiO2薄膜性质的影响，并采用XRD、XPS、AFM等检测手段对其进行了结构、成分、表面形貌和透过率表征。结果表明，氧气的相对
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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硅酸盐通报
【发表日期】
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2009年B08期
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