论文部分内容阅读
分别从热力学过程、化学过程、工艺过程3个方面综述了MOD（金属有机物热分解）成膜方法。重点论述了MOD成膜的推动力和热处理工艺中薄膜结晶状态的改变。在此基础上对薄膜的性能进行了控制和优化。关注了MOD成膜法的最新进展，包括BT和PZT纳米线的制备、胛纳米点的制备，并对MOD与Sol-gel进行了系统性的比较。