【摘 要】
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在晶硅片切割领域,切割液应与切割方式相匹配。切割液作为切割耗材之一,其性能直接影响硅片切割质量。本文综述了切割液的分类、切割液对切割方式的作用机理;并分析了切割液
【机 构】
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河南新大新材料股份有限公司,河南大学特种功能材料重点实验室,河南大学化学与化工学院
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在晶硅片切割领域,切割液应与切割方式相匹配。切割液作为切割耗材之一,其性能直接影响硅片切割质量。本文综述了切割液的分类、切割液对切割方式的作用机理;并分析了切割液的渗透性、润滑性、导热性、切割液粘度、p H及其螯合作用对切割行为的影响。结合切割方式的发展及切割液自身特点,展望未来切割液的发展方向。
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