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用对向靶反应溅射法制备了α″－Fe16N2薄膜，用X射线衍射（XRD）透视电子显微镜（TEM）和振动样品磁强计（VSM）对α″－Fe16N2的结构、磁性以及结构的热稳定性进行了分析讨论。结果表明，随火温度的升高，α″－Fe16N2相逐渐分解为α″－Fe和γ″－Fe4N两相，对磁性的分析表明，造成饱和磁化强度存在较大差异的原因与其内在的结构差别有很大的关系。