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为了提高Zr-Fe-Cr高温锆合金的耐腐蚀性能,采用磁控溅射,在Zr-Fe-Cr合金表面沉积TiAlN和TiAlSiN膜,然后对有无薄膜层的样品进行高温氧化,并对比不同表面状态样品氧化层的厚度及其增重。结果表明在Zr-Fe-Cr合金表面磁控溅射TiAlN和TiAlSiN均能明显提高基材的耐高温氧化性,其中TiAlSiN层表现出更优越的的性能。分析认为,基材的高温耐腐蚀性得到改善是因为镀层在高温下形成致密的Al 2 O 3和TiO 2膜,有效保护基体不被氧化。