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实验利用飞秒脉冲激光沉积Cu纳米颗粒薄膜，获得不同激光能量时溅射Cu粒子空间分布结果，并结合Matlab、Excel和Origin等软件对这些数据进行处理分析。实验结果表明：Cu纳米颗粒的空间分布遵循Anisimov气体膨胀模型，大部分的粒子主要集中在基片与溅射源中心线附近在小立体角度（θ〈30°）范围扩散。最后，实验选取合适立体溅射角度（θ≈30°），能量密度约为0．72J／cm2时，在不同曝光时间条件下溅射Cu纳米颗粒薄膜，并采用原子力显微镜（AFM）表征了膜厚变化情形，综合分析了