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提出一种新的扫描电子显微镜电子束非接触无损显微分层内窥透视半导体和多层结构集成电路表面层下亚表面层内半导体的缺陷和多层结构集成电路微结构的检测法(简称分层法)和用此法所观测到的分层内窥透视的图像.同时,还介绍了Lock-in在此新检测法中的应用
Lock-in用于无损显微分层内窥透视集成电路法
【摘 要】
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提出一种新的扫描电子显微镜电子束非接触无损显微分层内窥透视半导体和多层结构集成电路表面层下亚表面层内半导体的缺陷和多层结构集成电路微结构的检测法(简称分层法)和用
【机 构】
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云南大学物理系
【出 处】
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数据采集与处理
【发表日期】
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2001年z1期
【基金项目】
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自然科学技术部和国家科学基金委员会资助项目.
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