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介绍了电子气中的杂质在半导体生产工艺中的危害性,较详细地阐述了金属粒子、尘埃颗粒、氧、水及碳氢化合物等杂质对半导体器件所造成的缺陷,并由此给器件的光、电性能等产生的不利影响。指山了电子气生产和使用单位对这些杂质进行严格控制的重要性。
电子气中杂质对半导体器件的影响
【摘 要】
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介绍了电子气中的杂质在半导体生产工艺中的危害性,较详细地阐述了金属粒子、尘埃颗粒、氧、水及碳氢化合物等杂质对半导体器件所造成的缺陷,并由此给器件的光、电性能等产生
【机 构】
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化工部光明化工研究所大连116031
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1991年2期
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