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期刊论文
Al—Ge共蒸膜晶化现象的TEM研究
Al—Ge共蒸膜晶化现象的TEM研究
来源 :阜阳师范学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:WANGYUEWANG
【摘 要】
:
本文对三种不同Al原子百分比的Al-Ge共蒸膜进行了透射电镜观察研究,实验表明:a-Ge的晶经行为为敏感地依赖于共蒸膜中Al原子百分比及退火温度,分形结构的出现是由于温度场控制的随机逐次成核机
【作 者】
:
王戴木
【机 构】
:
阜阳师范学院物理系
【出 处】
:
阜阳师范学院学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
薄膜
铝/锗共蒸膜
晶化
TEM
铝/锗双层膜
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本文对三种不同Al原子百分比的Al-Ge共蒸膜进行了透射电镜观察研究,实验表明:a-Ge的晶经行为为敏感地依赖于共蒸膜中Al原子百分比及退火温度,分形结构的出现是由于温度场控制的随机逐次成核机制作用的结果。
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