Chemical Structure of Carbon Nitride Films Prepared by MW-ECR Plasma Enhanced Magnetron Sputtering

来源 :材料热处理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zonsun168

【摘要】

：

Amorphous carbon nitride thin films were prepared by plasma-enhanced DC magnetron sputtering using twinned microwave electron cyclotron resonance plasma sources

【作者】

：

XUJun GAOPeng DINGWan-yu LIXin

【机构】

：

StateKeyLab.forMaterialsModificationbyLaser

【出处】

：

材料热处理学报

【发表日期】

：

2004年05B期

【关键词】

：

碳氮化物 MW-ECR 磁控管溅射等离子增强沉积化学结构 Carbon nitride Plasma enhanced deposition Micro

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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Amorphous carbon nitride thin films were prepared by plasma-enhanced DC magnetron sputtering using twinned microwave electron cyclotron resonance plasma sources. Chemical structure of deposited films was investigated using X-ray photoelectron spectroscopy

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