【摘 要】
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通过往复式电镀金刚石线锯切割单晶硅片实验，分析了切片表面的微观形貌特点，研究了锯丝速度与进给速度对硅片的表面粗糙度、总厚度偏差（TTV）、翘曲度与亚表面损伤层厚度（SSD）的影响
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通过往复式电镀金刚石线锯切割单晶硅片实验，分析了切片表面的微观形貌特点，研究了锯丝速度与进给速度对硅片的表面粗糙度、总厚度偏差（TTV）、翘曲度与亚表面损伤层厚度（SSD）的影响规律。结果表明：线锯锯切时材料以脆性模式去除，锯切表面的微观形貌呈现部分沟槽与断续划痕，并存在大量凹坑；锯丝速度增大，进给速度减小，表面粗糙度与SSD减小；锯丝速度增大，进给速度增大，硅片的翘曲度也随之增大；硅片TTV值与锯丝速度和进给速度的匹配关系相关。
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