Pd,Ge薄膜体系中的分形晶化行为

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利用透射电子显微镜(TEM)对有化合物生成(Pd_2Ge和PdGe等)的Pd,Ge薄膜体系中的分形晶化行为进行了系统研究实验结果和分析表明:在各种退火温度条件下,Pd-Ge共蒸膜都难以发生分形晶化,Pd/a-Ge双层膜较a-Ge/Pd双层膜更容易导致分形结构的产生Z化合物Pd_2Ge和PdGe的形成对薄膜中的分形晶化有明显的抑制作用,体系中能否出现分形结构,取决于非晶Ge的成核生长和Pd,Ge化学反应两种过程的相互竟争. The fractal crystallization behavior of Pd and Ge thin films with compound formation (Pd_2Ge and PdGe, etc.) has been systematically investigated by transmission electron microscopy (TEM). The experimental results and analysis show that under various annealing temperature conditions, Pd-Ge However, the formation of fractal structure is more likely to occur in the Pd / a-Ge bilayer membrane than in the a-Ge / Pd bilayer membrane. The formation of the Pd 2 Ge and PdGe compounds is obviously affected by the fractal crystallization in the films Whether the fractal structure can appear in the system depends on the mutual competition between the nucleation and growth of amorphous Ge and the chemical reactions of Pd and Ge.
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