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采用顺序耦合法,对光开关中的、静电驱动的悬臂梁进行分析,得出了悬臂梁的动态响应特性,并指出了空气阻尼对器件性能的影响,为微机械传感器的设计提供了有力的分析方法.
光开关中静电驱动的微悬臂梁耦合分析
【摘 要】
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采用顺序耦合法,对光开关中的、静电驱动的悬臂梁进行分析,得出了悬臂梁的动态响应特性,并指出了空气阻尼对器件性能的影响,为微机械传感器的设计提供了有力的分析方法.
【机 构】
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厦门大学机电工程系
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2003年3期
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