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介绍了利用超声波测量二氯二氢硅精馏装置的塔釜液位和产品充装时充装数量的监测原理，方法，可靠性，并对二氯二氢的声速作了简单测量。
二氯二氢硅液位测量
【摘 要】
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介绍了利用超声波测量二氯二氢硅精馏装置的塔釜液位和产品充装时充装数量的监测原理，方法，可靠性，并对二氯二氢的声速作了简单测量。
【机 构】
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化工部光明化工研究设计院
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1998年3期
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