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通过对接触式电容传感器结构原理的分析,运用ANSYS对传感器膜片在外加压力作用下的接触和大变形等非线性问题进行分析,并基于有限元法编写相应的程序,直接得出输出电容与外加压力之间的关系.比较实验结果,验证了ANSYS对接触式电容压力传感器非线性分析的可行性,说明了这一分析方法的实用性.
ANSYS在接触式电容压力传感器非线性分析中的应用
【摘 要】
：
通过对接触式电容传感器结构原理的分析,运用ANSYS对传感器膜片在外加压力作用下的接触和大变形等非线性问题进行分析,并基于有限元法编写相应的程序,直接得出输出电容与外加
【机 构】
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厦门大学机电工程系,DepartmentofElectricalEngineeringandComputerScience
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2002年3期
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