【摘 要】
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设计了一种基于柔性放大原理的尺蠖压电驱动器，驱动器动子钳位部分采用对称式杠杆放大结构，中间驱动部分采用复合桥式结构。根据尺蠖压电驱动器迟滞非线性特点，在模型分析基础上
【基金项目】
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国家自然科学基金(61573238);国家科技支撑计划(2015BAF10B01);上海市自然科学基金(13ZR1415800);上海市教育委员会科研创新(14YZ008)资助项目
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设计了一种基于柔性放大原理的尺蠖压电驱动器，驱动器动子钳位部分采用对称式杠杆放大结构，中间驱动部分采用复合桥式结构。根据尺蠖压电驱动器迟滞非线性特点，在模型分析基础上，建立Preisach模型，确定逆Preisach迟滞模型的开环控制方法，并采用前馈HD方法实现闭环控制。搭建了尺蠖压电驱动器的开环实验系统，实验结果显示：尺蠖压电驱动器在开环控制下位移跟踪最大误差为2．9μm；当跟踪位移为80μm连续运动20个步距时，正反向行程的平均误差为2．1μm；当驱动电压为5V时，获得最小步距1．5μm。同时，搭建了
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