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low—k材料的使用，使低下压力技术成为化学机械抛光（CMP）设备研发设计必须面临的关键技术之一，为适应该需求，提出了弹性组合元件加压技术，即通过改变加压元件的变形量来实现压力调整的机械调压技术。对该加压模式的设计要求及加压精度进行了理论分析，并进行了加压精度及压力一变形线性关系的实验验证。实验所得的加压精度与理论分析结果比较接近，加压装置的压力与变形之间基本呈线性关系。加压元件可以实现压力从零开始的低下压力、高精度压力调整。