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射频超导谐振腔已经大规模地应用到粒子加速器领域,其优越之处在于它可以在CW模式或长宏脉冲模式下,提供高的加速梯度.射频超导已经成为自由电子激光和能量回收直线加速器的关键技术.经过30多年的研究发展,解决了超导腔的热崩溃、场致发射等诸多关键问题,目前加速梯度已经超过40 MV/m.高加速梯度的获得是射频超导领域的前沿热点,电抛光+低温热处理技术使射频超导腔的加速梯度提高3～4 MV/m.最新发展起来的超导腔的干式处理可以改善超导腔的表面状况,提高超导腔的Q值,抑制次级电子发射效应,有可能成为提高超导腔性能的