【摘 要】
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本文介绍了在扫描电子束曝光机的计算机控制系统中,对半导体器件、电路掩模图的常用数据压缩处理技术,并由此导出了相应的图形发生器逻辑电路的设计方法。在电子束曝光机的计
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本文介绍了在扫描电子束曝光机的计算机控制系统中,对半导体器件、电路掩模图的常用数据压缩处理技术,并由此导出了相应的图形发生器逻辑电路的设计方法。在电子束曝光机的计算机控制方面,有实用意义。
This paper introduces the commonly used data compression processing technology of semiconductor device and circuit mask in computerized control system of scanning electron beam lithography machine and derives the corresponding design method of logic circuit of graph generator. In the electronic beam exposure machine computer control, has practical significance.
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