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本文提出了一种新结构的微热致动泵，着重对其关键工艺进行了综述分析和实验研究，可为国内相关领域的研究提供一定的参考。
硅微热致动泵设计及其加工工艺的研究
【摘 要】
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本文提出了一种新结构的微热致动泵，着重对其关键工艺进行了综述分析和实验研究，可为国内相关领域的研究提供一定的参考。
【机 构】
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清华大学精密仪器系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1998年8期
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