【摘 要】
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用射频磁控溅射在衬底温度(Ts)为400℃和室温(RT)两种情形制备了Co1-xSix(0.0≤x≤0.34)合金膜.X射线衍射结果表明在这些合金膜中出现了不同程度的hcp(002)取向.在室温下沉积
【基金项目】
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国家攀登计划，国家重点基础研究发展计划(973计划)
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用射频磁控溅射在衬底温度(Ts)为400℃和室温(RT)两种情形制备了Co1-xSix(0.0≤x≤0.34)合金膜.X射线衍射结果表明在这些合金膜中出现了不同程度的hcp(002)取向.在室温下沉积的薄膜中,仅在x=0.0时有明显的hcp(002)取向.在400℃下沉积的薄膜中,随着硅含量x的增加,hcp(002)取向先是增强,继而在x=0.34时消失.相应与此的400℃下沉积的薄膜的θk(H)、(M(H))回线在x=0.23时出现了磁滞现象(Hc≈64kA/m),并且有大约20%的比剩余克尔旋转(比剩
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