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期刊论文
AlCu合金的反应离子刻蚀工艺研究
AlCu合金的反应离子刻蚀工艺研究
来源 :微处理机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuanCL19861125
【摘 要】
:
AlCu合金的反应离子刻蚀具有其工艺特殊性,如Cu的去除、侧壁的保护、后腐蚀的抑制等。采用BCl3、Cl2、N2和CH4刻蚀AlCu合金,获得了优化的工艺参数,分析了CH4的侧壁保护作用,
【作 者】
:
苟君
吴志明
太惠玲
袁凯
【机 构】
:
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【出 处】
:
微处理机
【发表日期】
:
2010年03期
【关键词】
:
AlCu合金
反应离子刻蚀
侧壁保护
残留物
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AlCu合金的反应离子刻蚀具有其工艺特殊性,如Cu的去除、侧壁的保护、后腐蚀的抑制等。采用BCl3、Cl2、N2和CH4刻蚀AlCu合金,获得了优化的工艺参数,分析了CH4的侧壁保护作用,重点研究了刻蚀残留物的去除。
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