M-PECVD制备高阻隔薄膜研究

来源 :包装工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wuweiyangking

【摘要】

：

在传统的等离子体增强化学气相沉积(plasma-enhanced chemical vapor deposition)技术基础上,通过添加磁场来约束等离子体相中的电子,增加单体有机大分子的电离率,称为磁化等

【作者】

：

孙运金陈强李朝阳张跃飞

【机构】

：

北京印刷学院北京印刷学院北京

【出处】

：

包装工程

【发表日期】

：

2007年10期

【关键词】

：

M-PECVD FTIR 氧化硅薄膜 AFM 阻隔性能 M-PECVD FTIR silicon oxide film AFM barrier prop

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

在传统的等离子体增强化学气相沉积(plasma-enhanced chemical vapor deposition)技术基础上,通过添加磁场来约束等离子体相中的电子,增加单体有机大分子的电离率,称为磁化等离子体(M-PECVD)技术。实验采用六甲基二硅氧烷和氧气混合气体作为沉积氧化硅薄膜的前驱气体,在厚度为12μm的PET薄膜表面沉积氧化硅薄膜。通过FTIR分析薄膜的结构成分,表明不同的功率对沉积薄膜的结构没有影响,只是对应于1030cm-1的Si—O峰的强度不一样.氧气透过率(OTR)测量发现:随着功

其他文献

XML管理方式及实现技术

XML管理系统在各自的表现能力和查询处理效率上有很大的不同,XML的用户应选择适合他们需要的XMLMS,本文将介绍XML-enabled数据库系统和Native XML数据库系统的特点和差异,并

期刊

XMLXML-enabled数据库系统NativeXML数据库系统数据库~~

《补农书》所见农村价格及其相关问题

农学杰作《补农书》突出反映了明末清初浙北农村价格及其相关问题。价格具有显著的社会经济作用，是人的本质力量外化的具体形式之一。部分物品的价格变动幅度及其影响较大，而该

期刊

《补农书》明末清初浙北价格Supplement to the Book on Agriculture from the end of Ming Dyn

武汉市农业面源污染现状及治理对策

从化肥施用、农药使用、农膜使用现状3个方面阐述了武汉市农业面源污染现状和为害性，分析了武汉市农业面源污染产生的原因，提出了建立政府主导的农业面源污染治理机制、应用化

期刊

农业面源污染现状治理对策武汉Agricultural non-point source pollutionPresent situationCoun

清代广州的绿化与绿色景观

随着城市的飞跃发展，清代广州的绿化活动也迅速发展起来，居宅、公共园林、寺庙、书院、衙署乃至山丘河湖隙地纷纷植树、栽花、种草，广州城市呈现出一片片绿色的景观。

期刊

清代广州绿化Qing Dynasty Guangzhou Virescence

石榴的无公害丰产管理技术

据试验调查发现，自然开心形有利于石榴早期丰产。整形要点：在主干40～60cm处短截定干（成形后主干高30～60cm），选方位合理的3个分枝作主枝配养，枝条停止生长后，调整与主干的夹角在50&#176

期刊

丰产管理技术石榴无公害自然开心形早期丰产结果枝组合理配备侧枝

M-PECVD制备高阻隔薄膜研究

其他学术论文