【摘 要】
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针对半导体扩散炉温度控制融合问题,提出了3-9-3结构的BF神经网络控制方法.建模表明:BF网络数学模型具有良好的控制品质和实用、高效等特点.
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针对半导体扩散炉温度控制融合问题,提出了3-9-3结构的BF神经网络控制方法.建模表明:BF网络数学模型具有良好的控制品质和实用、高效等特点.
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