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本文比较详细地介绍了光刻胶用于高精度光栅盘、度盘的制备工艺,並就其中的一些关键问题和试验结果作了说明。
光刻胶用于高精度光栅盘、度盘的制备工艺
【摘 要】
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本文比较详细地介绍了光刻胶用于高精度光栅盘、度盘的制备工艺,並就其中的一些关键问题和试验结果作了说明。
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1983年03期
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