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等离子体蚀刻多晶硅深沟道研究

来源 :湖北民族学院学报(自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：paokahh

【作 者】

：

朱永丹 杨建平 李兴鳌 左安友 袁作彬

【出 处】

：

湖北民族学院学报(自然科学版

【发表日期】

：

2008年06期

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