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利用空心阴极离子镀膜机在碳钢上制备TiN薄膜,采用销-盘式磨损试验机,在润滑条件下,研究不同厚度TiN薄膜的耐磨性.结果表明:TiN薄膜厚度低于1μm时薄膜易碎,高于2μm时耐磨性明显提高.
TiN薄膜厚度对耐磨性影响的研究
【摘 要】
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利用空心阴极离子镀膜机在碳钢上制备TiN薄膜,采用销-盘式磨损试验机,在润滑条件下,研究不同厚度TiN薄膜的耐磨性.结果表明:TiN薄膜厚度低于1μm时薄膜易碎,高于2μm时耐磨性
【机 构】
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哈尔滨理工大学应用科学学院
【出 处】
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哈尔滨理工大学学报
【发表日期】
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2003年3期
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