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TDLAS(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy)技术即可调谐半导体二极管激光吸收光谱技术,是利用激光器的窄线宽和可调谐波长的特性,通过扫描目标气体分子的高频吸收谱线,来获得目标气体的吸收光谱信号。通过对吸收光谱信号进行分析,可以反推目标气体的浓度、流速、质量流量,进而作为一种PAT过程分析技术,为冻干工艺过程控制提供重要依据。