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综述了ZnS的发光机制,脉冲激光沉积(PLD)制备薄膜的原理、特点,分析了在用PLD制备ZnS过程中各主要沉积条件对成膜质量的影响,展望了ZnS薄膜的应用前景.
ZnS薄膜脉冲激光沉积及其发光特性
【摘 要】
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综述了ZnS的发光机制,脉冲激光沉积(PLD)制备薄膜的原理、特点,分析了在用PLD制备ZnS过程中各主要沉积条件对成膜质量的影响,展望了ZnS薄膜的应用前景.
【机 构】
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郑州大学
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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2004年6期
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