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分析了悬臂梁的静态和动态特性,从理论上给出了提高悬臂梁频率分辨率的办法.在此基础上对6对振动激励和检测机制进行了分析与阐述,并对这些激励和检测机制应用于气体传感器的可行性进行了分析.
基于微悬臂梁的谐振式气体传感器
【摘 要】
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分析了悬臂梁的静态和动态特性,从理论上给出了提高悬臂梁频率分辨率的办法.在此基础上对6对振动激励和检测机制进行了分析与阐述,并对这些激励和检测机制应用于气体传感器的
【机 构】
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沈阳工程学院基础部
【出 处】
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辽宁大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2009年3期
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