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离子束混合形成氮化钛膜的摩擦和光学性能
离子束混合形成氮化钛膜的摩擦和光学性能
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wennny77
【摘 要】
:
用载能氮离子束轰击纯铁镀钛膜样品,成功地形成了金黄色氮化钛薄膜。结果表明:注入剂量为0.5×10^17 N^+/cm^2的混合样品表面颜色与纯金类似;氮离子束混合样品表面显微硬度及耐磨性都远优于
【作 者】
:
阎鹏勋
杨思泽
【机 构】
:
兰州大学,中国科学院物理研究所
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
1994年2期
【关键词】
:
离子束混合
氮化钛
薄膜
磨损
Ion beam mixing
TiN thin films
Wear
Reflectance curve
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用载能氮离子束轰击纯铁镀钛膜样品,成功地形成了金黄色氮化钛薄膜。结果表明:注入剂量为0.5×10^17 N^+/cm^2的混合样品表面颜色与纯金类似;氮离子束混合样品表面显微硬度及耐磨性都远优于纯铁基体,且随离子剂量的增加,混合样品的表面硬度和耐磨性也提高。
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