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Multilayered gradient CrN/ZrN coatings synthesized by magnetron sputtering

来源 :中国有色金属学会会刊：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：oldfly2005

【摘 要】

：

The multilayer gradient CrN/ZrN coatings were synthesized by a dual cathode DC magnetron sputtering.The influence of different species of reaction gases and par

【作 者】

：

LIU Feng WANG Ming-xia LIU Q 

【机 构】

：

CollegeofPhysicsandElectronicInformationScience,InstituteofPlasmaPhysics

【出 处】

：

中国有色金属学会会刊：英文版

【发表日期】

：

2004年z1期

【关键词】

：

MAGNETRON SPUTTERING MULTILAYERED GRADIENT coating CrN/ZrN NANOINDENTATION 

【基金项目】

：

Project(043801011) supported by Applied Basic Key Project of Tianjin, Project(50472026) supported by the National Natural Science Foundation of China, Project(GJDF01) also supported partly by Joint Pr

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The multilayer gradient CrN/ZrN coatings were synthesized by a dual cathode DC magnetron sputtering.The influence of different species of reaction gases and partial pressures on structure and mechanical properties was investigated using XRD, AES, XPS, and

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