【摘 要】
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乙炔是重要的化工和半导体工业的原料,电子级高纯乙炔C2 H2(体积分数≥99.99％)在大规模集成电路制造中用于碳掩膜制备,如介电膜和光刻碳层掩膜,采用等离子体增强化学气相沉积工艺,可以形成稳定的碳层膜.为满足半导体工业对电子级高纯乙炔的需求,需要对工业乙炔进行纯化,通过吸附和吸收解吸实验进行乙炔的纯化,得到符合要求的电子级高纯乙炔.
【机 构】
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苏州金宏气体股份有限公司,江苏 苏州215100
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乙炔是重要的化工和半导体工业的原料,电子级高纯乙炔C2 H2(体积分数≥99.99％)在大规模集成电路制造中用于碳掩膜制备,如介电膜和光刻碳层掩膜,采用等离子体增强化学气相沉积工艺,可以形成稳定的碳层膜.为满足半导体工业对电子级高纯乙炔的需求,需要对工业乙炔进行纯化,通过吸附和吸收解吸实验进行乙炔的纯化,得到符合要求的电子级高纯乙炔.
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