Micromechanics of substrate-supported thin films

来源 :力学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xxfei23

【摘要】

：

The mechanical properties of metallic thin films deposited on a substrate play a crucial role in the performance of micro/nano-electromechanical systems(MEMS/NE

【作者】

：

Wei He Meidong Han Shibin Wang

【机构】

：

DepartmentofMechanics,DepartmentofEngineeringMechanics

【出处】

：

力学学报：英文版

【发表日期】

：

2018年2期

【关键词】

：

THIN films Deformation ADHESION ELASTIC property Bauschinger effect

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The mechanical properties of metallic thin films deposited on a substrate play a crucial role in the performance of micro/nano-electromechanical systems(MEMS/NEMS)and flexible electronics.This article reviews ongoing study on the mechanics of substrate-su

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