【摘 要】
：
采用等离子体增强化学气相沉积技术,以NH3、SiH4和N2为反应气体制备富硅-氮化硅薄膜。在优化了其它沉积参数条件下,研究氨气流量对富硅-氮化硅薄膜的结构和光学性质的影响。
【基金项目】
：
国家自然科学基金（51262022）
论文部分内容阅读
采用等离子体增强化学气相沉积技术,以NH3、SiH4和N2为反应气体制备富硅-氮化硅薄膜。在优化了其它沉积参数条件下,研究氨气流量对富硅-氮化硅薄膜的结构和光学性质的影响。利用傅立叶变换红外光谱、紫外可见光谱和X射线衍射谱分析了薄膜的键合情况、带隙结构。结果表明,随着NH3流量的增大,薄膜中的Si-N键和N-H键增强,Si-H键减小并向高波数方向移动,薄膜逐渐由非晶SiNx相向小晶粒Si3N4相转变。同时随着NH3流量的增大,薄膜的光学带隙逐渐展宽,微观结构的有序度降低。XRD图谱分析表明薄膜内的平均晶粒尺寸也随着氨气流量的增加而在逐渐增大。结合以上结果分析,适当增加NH3流量有助于薄膜由非晶SiNx向包含小晶粒的Si3N4转变。
其他文献
利用一步溶剂热法制备了CaTi2O4(OH)2片状结构。利用X射线衍射仪和扫描电子显微镜测试样品的晶体结构和形貌,采用CHI660E电化学工作站对样品进行电化学性能分析,研究水/乙醇
四川省眼镜商会获“四川省先进社会组织”荣誉称号,江苏工商联合会眼镜行业商会在丹阳召开成立大会,宁波眼镜商会近日与泰国商会签署合作协议
在最速下降法的基础上，给出了地球物理勘探中计算一种正余弦变换的一个有效数值算法，同时对新算法产生的误差进行了理论分析，并用数值实验对理论分析进行了检验．误差的理论分析及
《经学理窟·宗法》是探讨张载宗法观的基本材料,但对于混入其中的程颐语录,尚无人作出考辨。本文对《理窟·宗法》大部分条目加以分析,尝试区分辨别张载语录与程颐语录。文
目的探讨个性化护理在人工髋关节置换患者围术期的应用价值.方法选取2016年4月~2018年4月于我院行人工髋关节置换术患者80例为研究对象,按随机数字法分成观察组和对照组各40
采用传统固相反应法制备了Ca0.9(NaCe)0.05Bi2Nb2O9铋层状无铅压电陶瓷。采用XRD、SEM、EDS及相关电学性能测试系统表征了样品的晶体结构、断面形貌、元素组成以及介电、压电
夫妻分房睡未必健康最近《纽约时报》上的一篇文章中指出,夫妻分房睡可能会引发沟通障碍。Tessina说,“这样做容易造成问题:在需要交流、沟通的时候,双方反而可能会回避彼此.
目的探讨急性冠脉综合征(ACS)糖代谢异常对冠脉病变程度和近期预后的影响。方法回顾性分析治疗的ACS患者160例,所有患者均行口服糖耐量试验,并依据检查结果分为血糖正常组(45
2008年以后,由于中国成功渡过全球经济危机,并实现较快发展,国内外部分学者认为这是实行"新国家资本主义"的结果。这种把中国特色社会主义市场经济体制整体上看作是"新国家资
使用溶胶-凝胶法在石英玻璃基片上制备了PZT铁电薄膜,通过控制热处理工艺,制备出致密且均勻的PZT铁电薄膜。通过获得高的剩余极化强度,提高PZT膜层的内建电场,从而提高PZT铁