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在高精度定位领域中,压电执行器(PEAs)被广泛应用,但其存在着固有的迟滞非线性特性,大大降低了它的控制性能。为了消除迟滞影响,提高压电执行器的控制精度,需建立其迟滞非线性模型。通过引入Duhem迟滞算子来将迟滞的多值映射转化为一对一映射关系,应用极限学习机算法逼近迟滞状态与迟滞输出的关系进行迟滞建模。最后应用实验仿真验证了建模方法的有效性。该方法训练速度快、建模精度高,便于实现。