【摘 要】
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在半导体材料硅中,常需测定杂质磷的含量,在各种测定磷的方法中,以中子活化法为最灵敏,方法的灵敏度可达10~(-7)%。但此法因中子源不易获得和分析时间冗长的限制,不适于用作
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在半导体材料硅中,常需测定杂质磷的含量,在各种测定磷的方法中,以中子活化法为最灵敏,方法的灵敏度可达10~(-7)%。但此法因中子源不易获得和分析时间冗长的限制,不适于用作惯常分析的方法。光度法测定纯硅中痕量磷的工作,资料中陆续有所报导:如以氯仿-正丁醇混合溶剂萃取分离痕量磷,
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